国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项2018年度项目申 指南

国科发资〔2018〕108号

各省、自治区、直辖市及计划单列市科技厅（委、局），新疆生产建设兵团科技局，国务院各有关部门科技主管司局，各有关单位：

根据国务院印发的《关于深化中央财政科技计划（专项、基金等）管理改革的方案》（国发〔2014〕64号）的总体部署，按照国家重点研发计划组织管理的相关要求，现将“智能机器人”等7个重点专项2018年度项目申 指南予以公布。请根据指南要求组织项目申 工作。有关事项通知如下。

一、项目组织申 要求及评审流程

1. 申 单位根据指南支持方向的研究内容以项目形式组织申 ，项目可下设课题。项目应整体申 ，须覆盖相应指南方向的全部考核指标。项目申 单位推荐1名科研人员作为项目负责人，每个课题设1名负责人，项目负责人可担任其中1个课题负责人。

2. 项目的组织实施应整合集成全国相关领域的优势创新团队，聚焦研发问题，强化基础研究、共性关键技术研发和典型应用示范各项任务间的统筹衔接，集中力量，联合攻关。

3. 国家重点研发计划项目申 评审采取填写预申 书、正式申 书两步进行，具体工作流程如下：

——专业机构在受理项目预申 后，组织形式审查，并开展首轮评审工作。首轮评审不需要项目负责人进行答辩。根据专家的评审结果，遴选出3~4倍于拟立项数量的申 项目，进入下一步答辩评审。对于未进入答辩评审的申 项目，及时将评审结果反馈项目申 单位和负责人。

——申 单位在接到专业机构关于进入答辩评审的通知后，通过国家科技管理信息系统填写并提交项目正式申 书。正式申 书受理时间为30天。

——专业机构对进入正式评审的项目申 书进行形式审查，并组织答辩评审。申 项目的负责人通过 络视频进行 告答辩。根据专家评议情况择优立项。对于支持1~2项的指南方向，如申 项目的评审结果前两位评价相近，且技术路线明显不同，可同时立项支持，并建立动态调整机制，结合过程管理开展中期评估，根据评估结果确定后续支持方式。

二、组织申 的推荐单位

1. 国务院有关部门科技主管司局；

2. 各省、自治区、直辖市、计划单列市及新疆生产建设兵团科技主管部门；

3. 原工业部门转制成立的行业 ；

4. 纳入科技部试点范围并评估结果为A类的产业技术创新战略联盟，以及纳入科技部、财政部开展的科技服务业创新发展行业试点联盟。

各推荐单位应在本单位职能和业务范围内推荐，并对所推荐项目的真实性等负责。国务院有关部门推荐与其有业务指导关系的单位，行业 和产业技术创新战略联盟、科技服务业创新发展行业试点联盟推荐其会员单位，省级科技主管部门推荐其行政区划内的单位。推荐单位名单在国家科技管理信息系统公共服务平台上公开发布。

三、申 资格要求

1. 牵头申 单位和参与单位应为中国大陆境内注册的科研院所、高等学校和企业等，具有独立法人资格，注册时间为2017年6月30日前，有较强的科技研发能力和条件，运行管理规范。政府机关不得作为申 单位进行申 。申 单位同一个项目只能通过单个推荐单位申 ，不得多头申 和重复申 。

2. 项目（课题）负责人须具有高级职称或博士学位，1958年1月1日以后出生，每年用于项目的工作时间不得少于6个月。

3. 项目（课题）负责人原则上应为该项目（课题）主体研究思路的提出者和实际主持研究的科技人员。中央和地方各级政府的公务人员（包括行使科技计划管理职能的其他人员）不得申 项目（课题）。

4. 项目（课题）负责人限申 1个项目（课题）；国家重点基础研究发展计划（973计划，含重大科学研究计划）、国家高技术研究发展计划（863计划）、国家科技支撑计划、国家国际科技合作专项、国家重大科学仪器设备开发专项、公益性行业科研专项（以下简称“改革前计划”）以及国家科技重大专项、国家重点研发计划重点专项在研项目（含任务或课题）负责人不得牵头申 项目（课题）。国家重点研发计划重点专项的在研项目负责人（不含任务或课题负责人）也不得参与申 项目（课题）。

项目（课题）负责人、项目骨干的申 项目（课题）和改革前计划、国家科技重大专项、国家重点研发计划在研项目（课题）总数不得超过2个；改革前计划、国家科技重大专项、国家重点研发计划的在研项目（含任务或课题）负责人不得因申 国家重点研发计划重点专项项目（课题）而退出目前承担的项目（含任务或课题）。国家重点研发计划的在研项目（含任务或课题）负责人和项目骨干退出项目研发团队后，在原项目执行期内原则上不得牵头或参与申 新的国家重点研发计划项目。

计划任务书执行期（包括延期后的执行期）到2018年12月31日之前的在研项目（含任务或课题）不在限项范围内。

5. 特邀咨评委委员不能申 项目（课题）；参与重点专项实施方案或本年度项目指南编制的专家，不能申 该重点专项项目（课题）。

6. 受聘于内地单位的外籍科学家及港、澳、台地区科学家可作为重点专项的项目（课题）负责人，全职受聘人员须由内地聘用单位提供全职聘用的有效证明，非全职受聘人员须由内地聘用单位和境外单位同时提供聘用的有效证明，并随纸质项目预申 书一并 送。

7. 申 项目受理后，原则上不能更改申 单位和负责人。

8. 项目的具体申 要求，详见各重点专项的申 指南。

各申 单位在正式提交项目申 书前可利用国家科技管理信息系统公共服务平台查询相关科研人员承担改革前计划和国家科技重大专项、国家重点研发计划重点专项在研项目（含任务或课题）情况，避免重复申 。

四、具体申 方式

项目申 单位 上填 预申 书的受理时间为：2018年8月20日8：00至9月25日17：00。进入答辩评审环节的申 项目，由申 单位按要求填 正式申 书，并通过国家科技管理信息系统提交，具体时间和有关要求另行通知。

国家科技管理信息系统公共服务平台：

http://service.most.gov.cn；

技术咨询电话：010-51666288（中继线）；

技术咨询邮箱：program@istic.ac.cn。

2. 组织推荐。请各推荐单位于2018年9月28日前（以寄出时间为准），将加盖推荐单位公章的推荐函（纸质，一式2份）、推荐项目清单（纸质，一式2份）寄送中国科学技术信息研究所。推荐项目清单须通过系统直接生成打印。

寄送地址：北京市海淀区复兴路15号中信所170室，邮编：100038。

联系电话：010-58882171。

3. 材料 送和业务咨询。请各申 单位于2018年9月28日前（以寄出时间为准），将加盖申 单位公章的预申 书（纸质，一式2份），寄送至承担项目所属重点专项管理的专业机构。项目预申 书须通过系统直接生成打印。

各重点专项的咨询电话及寄送地址如下：

（1）“智能机器人”重点专项咨询电话：010-68104402、68104423；

（2）“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项咨询电话：010-88377340；

（3）“可再生能源与氢能技术”重点专项咨询电话：010-68104430、68104408；

（4）“综合交通运输与智能交通”重点专项咨询电话：010-68104467；

（5）“ 络协同制造和智能工厂”重点专项咨询电话：010-68104423、68104472；

（6）“核安全与先进核能技术”重点专项咨询电话：010-68104430、68104408。

科学技术部高技术研究发展中心计划与监督处，寄送地址：北京市三里河路一号9号楼，邮编：100044。

（7）“制造基础技术与关键部件”重点专项咨询电话：010-68207732、68207730。

工业和信息化部产业发展促进中心，寄送地址：北京市海淀区万寿路27号院8号楼11层1121室，邮编：100846。

附件7 “ 制造基础技术与关键部件” 重点专项2018 年度项目申 指南

为落实《国家中长期科学和技术发展规划纲要（2006-2020 年）》《国家创新驱动发展战略纲要》和《中国制造2025 》等规划， 国家重点研发计划启动实施“制造基础技术与关键部件”重点专项。根据本重点专项实施方案的部署，现发布2018 年度项目申 指南。

本重点专项总体目标是： 以高速精密重载智能轴承、高端液压与密封件、高性能齿轮传动及系统、先进传感器、高端仪器仪表以及先进铸造、清洁热处理、表面工程、清洁切削等基础工艺为重点， 着力开展基础前沿技术研究， 突破一批行业共性关键技术， 提升基础保障能力。加强基础数据库、工业性验证平台、核心技术标准研究， 为提升关键部件和基础工艺的技术水平奠定坚实基础。

通过本专项的实施， 进一步夯实制造技术基础， 掌握关键基础件、基础制造工艺、先进传感器和高端仪器仪表的核心技术， 提高基础制造技术和关键部件行业的自主创新能力； 大幅度提高交通、航空航天、数控机床、大型工程机械、农业机械、重型矿山设备、新能源装备等重点领域和重大成套装备自主配套能力， 强有力地支撑制造业转型升级。

本重点专项按照产业链部署创新链的要求，从基础前沿技术、共性关键技术、应用示范三个层面， 围绕关键基础件、基础制造工艺、先进传感器、高端仪器仪表和基础保障技术五个方向部署实施。专项实施周期为5 年（2018-2022 年）。

2018 年， 在五个方向按照基础前沿技术类、共性关键技术类和应用示范类，拟启动不少于43 个项目，拟安排国拨经费总概算约6 亿元。为充分调动社会资源投入制造基础技术与关键部件的技术创新， 在配套经费方面， 共性关键技术类项目， 配套经费与国拨经费比例不低于1:1； 应用示范类项目， 配套经费与国拨经费比例不低于2:1 。鼓励产学研团队联合申 ， 由企业牵头申 的项目已在考核指标后明确。

项目申 统一按指南二级标题（ 如1.1） 的研究方向进行。除特殊说明外，拟支持项目数均为1~2 项。项目实施周期不超过3 年。申 项目的研究内容须涵盖该二级标题下指南所列的全部考核指标。项目下设课题数不超过5 个， 每个课题参研单位不超过5 个。项目设1 名项目负责人， 项目中每个课题设1 名课题负责人。

指南中“每个项目拟支持数为1~2 项”是指： 在同一研究方向下， 当出现申 项目评审结果前两位评价相近、技术路线明显不同的情况时， 可同时支持这2 个项目。2 个项目将采取分两个阶段支持的方式。第一阶段完成后将对2 个项目执行情况进行评估， 根据评估结果确定后续支持方式。

1. 关键基础件

1.1 高速精密悬浮轴承（ 基础前沿技术类）

研究内容： 研究过临界磁悬浮转子动力学行为及控制理论； 研究磁悬浮轴承测控模块的优化设计方法及保护轴承的失效与寿命演变机理； 研究磁悬浮轴承与支承部件的耦合作用机理及设计方法；研究新型气体动压轴承设计方法及其支承转子动力学特性， 研究高承载、大阻尼新型轴承结构； 研究新型气体动压轴承关键制造技术及性能测试技术。

考核指标：（略，查阅附件）。

1.2 轴承服役性能演变机理与数字化设计方法（ 基础前沿技术类）

研究内容： 研究高速精密轴承服役性能演变规律与轴承动静刚度特性、热特性、精度特性设计理论与方法； 研究轴承在变载、变速、非正常润滑、乏信息等复杂工况下早期失效机理与轴承服役寿命预测方法；开发包含轴承性能试验数据资源的工程数据库。

考核指标：（略，查阅附件）。

1.3 轴承超精密制造及检测技术（ 共性关键技术类）

研究内容： 研究工艺参数对磨削精度与表面质量影响机理， 研究批量生产条件下轴承套圈、滚子精密磨削工艺； 研究抛光过程中磨粒与滚道表面的滚轧与微量刻划耦合作用机制， 研究批量生产条件下滚道曲面高表面质量抛光技术； 研究针对轴承几何精度及能耗测试的快速精密测量技术及装置。

考核指标： （略，查阅附件）。

有关说明： 由企业牵头申 。

1.4 精密机床主轴轴承示范应用及工业试验平台（ 应用示范类）

研究内容： 研究精密机床主轴轴承高精度保持性设计技术； 研究P2 级精密主轴轴承批产制造及精密装配技术； 研究机床主轴轴承运行维护技术； 研究精密机床主轴轴承试验数据采集、数据分析及性能评价技术， 开发相关试验装备； 建立主轴轴承系列产品工业性验证平台，相关研究成果在高速精密机床上实现应用。

考核指标： （略，查阅附件）。

有关说明： 由企业牵头申 。

1.5 高速精密轴承新型润滑技术（ 共性关键技术类）

研究内容： 研究润滑介质润滑性能、噪音特性等与微观结构间的构性关系， 研发适应于极端工况的低噪音长寿命轴承润滑介质； 研究高速轴承多场耦合摩擦润滑机理， 开发轴承润滑分析/ 设计方法与工具软件； 研究低噪声、长寿命含油保持架材料组分、制造及应用技术； 研究新型润滑结构单元及微量润滑技术。

考核指标：（略，查阅附件）。

1.6 液压元件与系统轻量化设计制造新方法（ 基础前沿技术类）

研究内容： 研究非金属材料液压元件尺寸精度保持稳定性、服役蠕变等性能演变的规律； 探索气体分离、污染物沉淀的新原理、新方法， 研制小型化液压单元及原理样机； 研究一体化电液执行器设计制造关键技术与液压元件轻量化制造新工艺。

考核指标： （略，查阅附件）。

1.7 机械密封服役性能演化机理与可靠性评估方法（ 基础前沿技术类）

研究内容： 研究机械密封服役过程表界面微观形貌和综合性能演化机理， 基于多场耦合原理研究机械密封智能化基础理论及高压、多介质复杂工况下机械密封数字化分析与设计方法； 研究机械密封在典型工作条件下的故障与失效模式， 研究机械密封的可靠性模拟测试技术、机械密封的可靠性与寿命评估方法。

考核指标：（略，查阅附件）。

1.8 液压元件可靠性评估方法与寿命测试技术（ 共性关键技术类）

研究内容：研究液压元件可靠性设计与实验评估的通用规范； 研究典型液压元件（ 液压阀、液压泵、液压缸等） 的可靠性与寿命实验评估方法， 建立典型液压元件的故障模式、失效案例数据库； 研制典型液压元件的耐久性与寿命测试装置。

考核指标：（略，查阅附件）。

有关说明： 由企业牵头申 。

1.9 橡塑密封数字化设计及制造关键技术（ 共性关键技术类）

研究内容： 研究复杂工况和极端条件下橡塑动密封性能演变机制； 研究密封系统宏观参数、微观特征与服役性能之间的影响规律； 研究新型旋转密封和往复密封的设计方法； 研究橡塑密封工艺数字化、智能化控制方法及实现技术， 实现示范应用。

考核指标：（略，查阅附件）。有关说明： 由企业牵头申 。

1.10 大型压力成型机械轴向柱塞液压泵（ 应用示范类）

研究内容： 研究高压大排量轴向柱塞泵摩擦副分布式测量技术及优化设计方法；研究适合高交变载荷的液压泵变量控制机构， 研制高可靠的电液比例阀； 研究轴向柱塞泵的材料与热处理、精密制造与装配工艺； 在大型高端陶瓷成型机、压铸成型机等大型压力成型机械上实现示范应用。

考核指标：（略，查阅附件）。

有关说明： 由企业牵头申 。

1.11 工程机械用高压多路阀（ 应用示范类）

研究内容： 研究阀内复杂流道与油路优化设计方法， 高压片式结构的密封控制方法； 研究整体式多路阀复杂阀体的精密铸造工艺； 研究多路阀的负载敏感、比例分流等电液控制方式； 在挖掘机、起重机等工程机械上实现示范应用。

考核指标：（略，查阅附件）。

有关说明： 由企业牵头申 。

1.12 高性能齿轮动态服役特性及基础试验（ 基础前沿技术类）

研究内容： 研究齿轮传动宏微观几何特征—润滑多场耦合动态接触特性和摩擦学—动力学耦合分析技术； 研究齿轮表面完整性、制造全流程的组织与性能调控技术； 研究齿轮疲劳试验和评价新技术， 开发高性能齿轮材料接触疲劳强度和弯曲疲劳强度基础数据库。

考核指标：（略，查阅附件）。

1.13 齿轮测量新方法与基准级齿轮渐开线样板（ 基础前沿技术类）

研究内容： 研究齿轮非接触测量原理， 建立拓扑齿面三维表征和齿面全信息数据点云处理方法， 开发相应测量软件； 研制非接触式齿轮快速测量装置； 研究新型基准级齿轮渐开线样板的精密加工与测量技术， 研制新型基准级齿轮渐开线样板。

考核指标： （略，查阅附件）。

1.14 高速精密重载人字齿轮传动关键技术（ 共性关键技术类）

研究内容： 研究精密重载人字齿行星传动均载机理、修形理论与方法、振动噪声分析与动力学优化； 研究超高效率人字齿行星传动技术； 研究齿轮热处理变形控制、齿面高精加工及传动装置装配工艺等关键技术； 研究精密重载人字齿轮精度检测及部件动平衡技术； 在船舶、航空等领域示范应用。

考核指标：（略，查阅附件）。

有关说明： 由企业牵头申 。

1.15 大型风电齿轮传动系统关键技术及工业试验平台（ 应用示范类）

研究内容： 研究大型风电增速箱机电集成设计方法； 研究动态设计与减振降噪、抗疲劳制造与装配、密封及润滑等关键技术； 构建大型风电齿轮箱工业性验证平台， 研究在线远程监测、加速疲劳寿命试验和综合性能评价技术； 在大型海上风电设备中示范应用。

考核指标：（略，查阅附件）

有关说明： 由企业牵头申 。

1.16 齿轮传动数字化设计分析与数据平台（ 应用示范类）

研究内容： 研究齿轮传动及系统数字化设计理论与方法， 开发齿轮传动数字化设计分析软件； 研究齿轮传动设计制造信息、测试试验性能信息等的数字化及其与互联 的集成，开发“减速器+信息数据包”的数据平台； 实现工程化与示范应用。

考核指标： 齿轮传动系统数字化设计分析软件1 套； 基于数据平台的“减速器+信息数据包”不少于2种。

有关说明： 由企业牵头申 。

2. 基础制造工艺

2.1 铝合金薄壁类零件的半固态流变铸造技术（ 应用示范类）

研究内容： 研究高品质铝合金半固态流变充型过程数字模拟及成形精确控制技术， 研究铸造浆料制备控制技术， 开发成形工艺及模具， 研制半固态流变成形专用制浆设备机构单元、专用压铸和挤压铸造成套技术， 实现生产示范应用。

考核指标：（略，查阅附件）。

有关说明： 由企业牵头申 。

2.2 高强轻质合金大型薄壁精密铸造技术（ 应用示范类）

研究内容：研究轻质合金精密铸件控形控性机理及基础工艺； 研究高强轻质合金精密铸件凝固控制技术、数字化精密铸造技术； 研究大型复杂钛合金高精度整体铸造技术； 研究铝合金高真空压铸技术； 实现在航空、航天、汽车等领域示范应用。

考核指标： （略，查阅附件）。

有关说明： 由企业牵头申 。

2.3 轴齿类零件真空可控气氛清洁热处理技术（ 应用示范类）

研究内容： 研究可控气氛表面强化层组织性能控制技术； 研究轴齿类零件真空热处理应力/变形数值模拟、气液复合淬火热处理精确控制技术； 研究真空低压渗碳、碳氮共渗热处理技术； 研究真空高压气淬等温淬火工艺技术； 开展轴齿类零件真空清洁热处理装备开发及示范应用。

考核指标：（略，查阅附件）。

有关说明： 由企业牵头申 。

2.4 替代电镀铬的绿色表面处理技术（ 共性关键技术类）

研究内容： 研究替代电镀铬碳化硅类涂层沉积机理， 建立替代电镀铬复合微粒的关系模型； 研究碳化硅类涂层材料设计及性能评价方法； 研究碳化硅类复合电镀技术； 研究超高速熔覆工艺技术及装置，研究专用金属粉末及制备工艺； 在气缸、活塞、轧辊、液压活塞杆等部件上进行示范应用。

考核指标：（略，查阅附件）。

有关说明： 由企业牵头申 。

2.5 基础制造工艺资源环境属性数据库（ 共性关键技术类）

研究内容： 研究资源环境负荷数据采集与获取方法， 研制数据采集工具和系统； 研发基础制造工艺和产品生命周期的环境影响评价支持系统， 实现典型工艺的应用验证； 构建基础制造工艺资源环境负荷的评价指标体系， 研究基础制造工艺的资源环境负荷评价模型， 开发资源环境负荷数据库。

考核指标：（略，查阅附件）。

有关说明： 由企业牵头申 。

2.6 清洁切削机理与前沿技术（ 基础前沿技术类）

研究内容： 研究高温合金、钛合金、淬硬钢、复合材料等典型材料的高速干切削机理、新型机床结构和刀具设计理论与方法； 低温干式切削机理、内冷主轴、刀柄等功能部件设计理论与方法； 微量润滑切削机理、智能化微量润滑装置及相关工具系统设计理论与方法；可降解环保切削液冷却润滑机理及其设计理论与方法； 清洁切削加工综合性能评价与检测技术等。

考核指标：（略，查阅附件）。

3. 先进传感器

3.1 高性能硅压力、加速度、角速度传感器前沿技术（ 基础前沿技术类）

研究内容： 研究新型谐振式硅传感器敏感原理和结构； 研究传感器非线性效应、耦合效应、温度效应及工艺误差影响； 研究传感器优化设计、制造工艺精确控制、低应力封装等关键技术； 开发闭环信号检测与控制电路系统集成技术； 研制高精度硅压力传感器、加速度传感器、角速度传感器原型器件， 并在流程工业与机器人领域试用验证。

考核指标： （略，查阅附件）。

3.2 基于量子效应的微纳传感器前沿技术（ 基础前沿技术类）

研究内容： 研究基于量子效应的芯片式角速度传感器、磁场传感器设计方法； 研究传感器电子自旋-核自旋相互作用机理、温度效应； 研究谐振频率控制、微型腔室制备、真空封装等关键技术； 开发激光器、探测器、处理电路系统集成技术； 研制高精度角速度传感器、磁场传感器原型器件， 并在重大技术装备中试用验证。

考核指标：（略，查阅附件）。

3.3 无线无源微纳传感器前沿技术（ 基础前沿技术类）

研究内容： 研究微型化声表面波（SAW）、电感-电容（LC） 无线传感器设计； 研究传感器多参数敏感的耦合效应； 研究传感器结构优化设计、曲面衬底上传感器制备工艺、封装、工业环境无线信号传输等关键技术； 开发信号调制解调技术及处理电路系统集成技术； 研制SAW 和LC 多参数监测传感器原型器件，并在燃气轮机主轴、轴承健康状况监测中试用验证。

考核指标：（略，查阅附件）。

3.4 微纳传感器与电路协同设计技术及设计工具（ 共性关键技术类）

研究内容： 建立热/机械/电学多物理场耦合模型、硅表面加工与体加工工艺模型、闭环控制传感器宏模型； 研究具有完全自主知识产权、包含器件级、工艺级、系统级设计功能的微纳传感器综合设计工具； 研究微纳传感器与电路协同设计技术， 并实现与集成电路（IC） 设计工具的无缝连接； 形成集成传感器知识产权库（IP），IP 经过生产线验证。

考核指标：（略，查阅附件）。

3.5 微纳传感器与电路单片集成工艺技术及平台（ 共性关键技术类）

研究内容：研究在同一芯片上制造微纳传感器与IC 的工艺技术；以互补-金属-氧化物-硅（CMOS）工艺线为基础，研究与CMOS 工艺兼容的微纳传感器表面加工、体加工、硅直接键合加工等关键技术； 建立可量产的微纳传感器与电路单片集成制造技术并形成标准制程规范， 实现单片集成微纳传感器规模化生产。

考核指标： （略，查阅附件）。

3.6 圆片级真空封装及其测试技术与平台（ 共性关键技术类）

研究内容： 研究微机电系统（MEMS） 圆片级真空封装设计技术； 研究圆片级多层布线、金属和绝缘薄膜平坦化技术、低温键合、吸气剂生长及激活、真空测试等关键技术； 研究可量产的圆片级真空封装技术并形成标准制程规范， 实现多种器件规模化圆片级真空封装。

考核指标：（略，查阅附件）。

有关说明： 由企业牵头申 。

3.7 高温硅压力传感器关键技术及应用（ 应用示范类）

研究内容：研究高可靠性MEMS 高温硅压力传感器结构优化技术； 研究低应力无引线封装、温度补偿、高温专用电路（ASIC） 芯片等关键技术； 开发测控接口电路； 实现批量化生产并在重大技术装备中应用。

考核指标： （略，查阅附件）。

有关说明： 由企业牵头申 。

3.8 单片集成多轴传感器关键技术及应用（ 应用示范类）

研究内容： 研究单芯片集成多轴传感器可复用的模块化设计技术； 研究传感器单面微机械加工工艺、芯片内薄膜真空封装等关键技术； 开发多轴传感器信号处理、融合与测试技术； 形成单芯片集成多轴传感器制程规范， 实现批量化生产并在大型起重输运装备、电梯生产线等行业应用。

考核指标： （略，查阅附件）。

有关说明： 由企业牵头申 。

3.9 无线红外高温微纳传感器关键技术及应用（ 应用示范类）

研究内容： 研究硅基红外传感器设计优化、制造工艺、封装、可靠性、测试等关键技术； 研究工业现场环境下， 高精度、非接触、红外高温温度测量技术； 开发无线能量收集及信号传输技术； 实现无线红外高温微纳传感器批量化生产， 并在高温熔炼炉监测中应用。

考核指标：（略，查阅附件）。

有关说明： 由企业牵头申 。

3.10 运动部件壁面温度微纳传感器关键技术及应用（ 应用示范类）

研究内容： 研究微纳温度传感器优化设计方案； 研究运动部件曲面基底上高温绝缘层、缓冲层、温度敏感层的原位制造和微加工技术； 研究微纳温度传感器在高温、高速、强振等恶劣环境下的可靠性； 研究传感器标定、信号无线引出及多传感器系统集成技术； 实现微纳温度传感器批量化生产， 并在重大技术装备中示范应用。

考核指标： （略，查阅附件）。

有关说明： 由企业牵头申 。

4. 高端仪器仪表

4.1 基于语义交互集成的仪器仪表新型体系架构（ 基础前沿技术类）

研究内容： 研究标准化语义描述、元数据提取、分类编码规则等仪器仪表信息交互基础方法； 研究基于语义交互的仪器仪表信息集成与智能互联技术； 开发适应语义交互集成、可重构的仪器仪表新型技术架构； 在面向智能工厂应用的典型仪器仪表上开展原理验证。

考核指标： （略，查阅附件）。

4.2 微弱电信号精密检测及高速数据处理技术（ 基础前沿技术类）

研究内容： 研究微弱电信号精密检测算法以及调理技术； 研究超高速和高精度模数转换器设计技术，超高速并行采样、并行触发定位与存储同步等关键技术； 研制微弱电信号精密检测及高速数据处理的原理样机， 面向先进半导体制造行业典型需求开展试验验证。

考核指标：（略，查阅附件）。

4.3 基于量子效应的仪表原位标校技术（ 基础前沿技术类）

研究内容：研究基于量子效应实现仪表原位标校的基础方法； 研究量子磁通调控和数模转换技术、量子准确度任意电压信号合成技术； 建立以量子数模转换为核心的标准级电压校准器物理系统并在仪器仪表制造行业开展原理验证。

考核指标： （略，查阅附件）。

4.4 具备边缘计算能力的新型仪器仪表（ 共性关键技术类）

研究内容： 研究仪器仪表嵌入式硬件计算资源分配、计算效能等的基础理论与技术； 研究仪器仪表边缘计算的数据实时分析与处理等技术； 研制面向智能工厂应用的基于边缘计算技术的新型仪器仪表， 并在典型流程行业示范应用。

考核指标： （略，查阅附件）。

4.5 面向恶劣环境的仪器仪表