上海群星材料厂
(图片选自 络和个人提供)
文字撰写:路岐
原群星材料厂大门。
群星半导体材料厂,厂址是:休宁县渭桥乡重塘镇。主要生产产品是:单晶硅。1965年5月,上海市委、市府遵照毛主席建设大小三线的指示,提出了:“保存精华、发展精华”、“小而精、小配套”、“先立足、后发展”的口号,并组织制订了建设上海小三线的具体规划,那就是:主要是搬迁一部分科研单位。如一旦战争爆发,就可以将上海的一部分精华力量保存起来,又可为重建上海服务。
原群星材料厂财务科张金钟(左,健在)、门卫杜阿六(中,过世)、供应科张新志(右,过世)在厂大门留影。
根据市委、市府关于“保存精华、发展精华”的指示,为此,上海有色金属研究所就决定将本所第四研究室,迁往皖南建立分所,全部职工200人。当时,对外的名称是:上海群星材料厂。1977年5月11日,先更名为:“上海后方群星材料厂”。1980年1月27日,又改名为:“上海半导体材料厂”。到1985年5月24日,就更名为:“上海有色金属研究所半导体材料厂”。
原群星材料厂现在的大门。
1965年5月,那时,由市公用事业办公室副主任罗白桦带领的考察队,将群星材料厂厂址,选定在休宁县城西南14公里处的渭桥公社重塘大队。1966年5月16日开始动工建厂,建设者们在那“头顶烈夜披星,脚踏杂草满地行,毛毡竹棚暂栖身,毒蛇野兽常相临”的恶劣环境下战天斗地,艰苦创业。
二楼是原群星材料厂厂部办公室,底楼是厂汽车队。
有色所四室的支内职工们,将价值500余万元的工艺设备,自已动手进行安装调试,并在1969年的国庆节前夕,开始了投产。但是,当时在动迁中,由于只是第四研究室的全部仪器设备,以及只搬运了一些急需要的测试仪器。所以,要投入正常生产,光靠现在搬迁到皖南山区的这些东西,就无法进行正式生产和科研活动。因此,还必需进行配套和完善。
原群星材料厂医务室及办公楼。
于是,群星材料厂的职工,就着手动工新建了一些必要的车间厂房。如三氯氢硅合成车间、工业结晶硅生产车间、机修车间、扩建氢氧站、多晶硅生产车间、直拉硅单晶车间、区熔硅单晶车间、备品备件库、汽车修理场以及油库。
在生产设备上,群星材料厂的职工,自行设计、制造了投料量为一公斤的机械传动和液压传动式的直拉硅单晶炉各一台;并自行测量、设计,安装了直径50毫米、全长1000余米、翻越二个山头、由氢氧站供气至生产点的氢气管道;安装了2吨卧式锅炉,并翻越一个山头,安装了蒸汽管道,将蒸汽送至氢氧站;同时,自行设计、制造了多晶硅和三氯氢硅的生产设备,经安装调试,顺利投入了生产,又组织了工业结晶硅车间的投产。
原群星材料厂机修车间。
随着正式投产,厂区供水不足,又成了一个瓶颈问题。于是,群星材料厂的职工,又自己动手,建立了一个供水系统,即安装了一根直径150毫米、长300余米的接力泵站。
为能顺利指挥生产和建设,群星材料厂又修造了一批办公用房和设立各个科室。另外,为便利职工的生活,还建设了一些生活设施,如食堂、浴室、锅炉房、医务室和职工业余活动室。
原群星材料厂职工食堂已破烂不堪。
至1975年末,群星材料厂已建成上海地区唯一一家从石英石、木炭还原,生产工业结晶硅至硅外延片的生产工艺齐全、测试设备完整的硅材料生产、科研的中型单位。
1976年,研制成功的10M3钯、银、金合金的氢气净化器,在1977年,荣获上海市科技成果奖和1978年全国科技大会奖。生产的p型高阻的区熔硅单晶,销售量占全市的三分之一以上。质量也获得用户的一致好评,因而使群星材料厂声誉鹊起。
群星材料厂总机房接线员。
1980年,区熔硅单晶中子嬗变掺杂的产品投放市场,获得了用户的一致好评,成为市场的畅销品。在同年年终的全市同行业产品质量评比会上,群星材料厂的硅单晶抛光片,又被评为第一名。
群星材料厂职工在安装扩音喇叭。
1981年11月,在有色金属研究所领导的关怀下,为解决后方群星材料厂部分职工的实际困难,决定利用有色所的1020车间,改造成硅单晶生产的场地,解决了后方群星材料厂部分职工的实际困难。
1982年9月,在黄山召开的第二届硅材料学术会议上,市冶金局邀请了全国有关专家,对群星材料厂自行设计、制造的、并经过较长时间使用的cf—3型浮板塔,认定为提纯三氯氢硅的理想设备,和“提高重掺锑直拉硅单晶质量与成品率”的总结 告,以及对“区熔硅单晶生长晶体冷却速率对旋涡缺陷形成的影响——消除无位错区熔硅单晶旋涡缺陷的工艺研究”的科研成果,进行了专家鉴定,最终受到了与会专家的一致好评。
多晶硅烧结炉。
群星材料厂自行设计、制造的、并经过较长时间使用的cf—3型浮板塔,被认定为全国领先;“提高重掺锑直拉硅单晶质量与成品率”的总结 告,被认定为:实用价值较高,应该予以推广生产。“区熔硅单晶生长晶体冷却速率对旋涡缺陷形成的影响——消除无位错区熔硅单晶旋涡缺陷的工艺研究”的论文,分别被刊登在全会论文集等刊物上。
单晶硅材料。
接着,全面推广了群星材料厂的“提高重掺锑直拉硅单晶质量与成品率的研究成果”。结果,直径50毫米的直拉重掺锑硅单晶的成品率,由35%提高到50%。1984年4月,这个成果荣获了上海市重大科技成果三等奖,并被评为上海市优质产品。第二年,n型低频大功率用硅单晶,又被评为上海市500项赶超产品中的优质产品。
1985年2月2日,市府传达上海市与安徽省签订的皖南小三线企事业单位协议精神,小三线企事业单位的固定资产、流动资金、大修理费用,全部无偿移交给当地政府,上海支内人员全部返回上海。
单晶硅材料。
至1986年底全面停产时,群星材料厂厂区占地面积有61831㎡,建筑面积有24749㎡,固定资产净值529万元,职工612名。主要产品的年生产能力:直拉硅单晶2吨,区熔硅单晶1吨,硅外延片200万片,硅单晶片15万片。
至1986年底停产时止,群星材料厂历年累计工业总产值13000万元,上交税利3059万元;生产直拉硅单晶16713公斤;区熔硅单晶4546公斤;硅外延片1674万片,硅单晶片41.4万片,产品销往全国20个省市近100个单位,并多次获奖。
原群星材料厂幼儿园小朋友的集体照。
1987年5月12日上海群星材料厂按照上级要求,将全部资产、设备和厂房,无偿移交给休宁县人民政府。1987年7月29日,上海群星材料厂在休宁县的善后工作,正式宣告结束,留守人员同时全部撤回上海。
原群星材料厂职工计划科李广普(左)与同事午休时在办公室里下棋。
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